Hvert er hlutverk tómarúmskerfis?

1. Að stjórna ferlum og framleiðslu:

Mörg ferli krefjast lofttæmisskilyrða til að forðast skaðleg efnahvörf, mengun eða tæringu í andrúmsloftinu. Tómarúmskerfi gegna mikilvægu hlutverki í hálfleiðaraframleiðslu, rafeindaiðnaði, glerframleiðslu og ýmsum húðunar- og yfirborðsmeðferðarferlum. Notkun lofttæmisumhverfis bætir efniseiginleika, dregur úr bólumyndun og nær hágæðavörum.

 

2. Að veita mjög stöðugt og hreint vinnsluumhverfi:

Nákvæm stjórn á vexti, framleiðslu og vinnslu hálfleiðaratækja-eins og útfellingu, ætingu og hreinsun- er náð með því að stjórna gasþrýstingi og samsetningu. Að fjarlægja agnir, óæskilegar lofttegundir og raka hjálpar til við að draga úr mengun hálfleiðaraefna.

 

3. Efnisvernd:

Fyrir efni sem eru viðkvæm fyrir efnahvörfum eða tæringu við háan hita eða þrýsting, veitir lofttæmi umhverfi stöðugri geymslu- og rekstrarskilyrði, sem varðveitir í raun eðliseiginleika efnisins.

 

4. Lengja líftíma búnaðar:

Tómarúmskerfi geta einnig lengt líftíma búnaðar. Þetta er vegna þess að tæringu og skemmdum af völdum lofttegunda, ryks og raka er í raun stjórnað í lofttæmi, sem dregur úr sliti á búnaði og viðhaldskostnaði.

 

5. Bremsuaðstoð:

Við hemlun virkar tómarúmskerfið sem aðal bremsuörvun og nýtir lofttæmisáhrifin sem myndast þegar vélin er í gangi til að auka verulega kraftinn sem ökumaður beitir á bremsupedalinn og ná þannig hröðum og skilvirkum hraðaminnkun eða stöðvun ökutækisins.